国家高性能计算机工程技术研究中心_工程技术研究中心打算_国家级工程技术中心(42)

包括9条MO源，6条气体源路，先进的在位监测装置 包括MO源，气体源路，先进的在位监测装置 34 检漏仪 LEYBOLD公司 ULTRATRESTUL200 2000 德国 20.87 氦气、氢气的检测功能；漏率达到10E-10；真空度能达到10E-2；带220-240V孔物镜转盘，放大倍数100-1000倍 显微镜 36 探针测试台 Sign Tone S-1160B-8N 2001 美国 72.83 真空吸附，显微观察最大放大倍数50 用于芯片测试，最大芯片直径6寸，真空吸附，可通过显微镜观察芯片表面，最大放大倍数50倍。遮光测试 37 UPS电源 美国爱克赛公司 POWORWARE9315 2001 美国 29.00 80KVA UPS电源带有系统；带有自动切换功能 38 MOCVD超净系统 苏州安泰空气技术 2001 国内 42.19 洁净室内洁净度为万级 超净系统 39 霍尔测试系统 北京工业大学 2002 国内 40.75 带有电流调节和稳定系统 霍尔测试 40 脉冲激光溅射沉积 沈阳PLD-ⅢF型 2002 国内 21.00 生长二氧化硅和氮化硅等材料，其真空腔室的真空度能够达到10E-4Pa 生长二氧化硅和氮化硅等材料 41 应力仪 光电技术研究所 2003 国内 12.00 测试硅片尺寸：2-4英寸 测量曲率半径的变化及应力分布 42 集成电路测试仪 华峰测控技术 STS2106A 2003 国内 16.50 1nA电流测试分辨力，并具有良好的测试精度和稳定性，可满足标CMOS电路的测试要求。

20V程控电源电压，驱动、比较电平和电压测量范围，可满足CD4000系列等高电压逻辑的数字电路测试要求。支持OC门、OE门和3S门器件的逻辑功能和静态直流参数测试 适用于通用数字集成电路以及常用计算机接口芯片的参数测试 43 X射线双晶衍射仪 英国Bede QC-200 2001 英国 116.87 具有对称、非对称和002反射能力；获得高精度X-ray回摆曲线；典型峰值衬底(GaAs) 强度>600Kcps背景0.2cps 具有对称、非对称和002反射能力 44 发生器 Agilent 2004 美国 23.96 频谱程度、带宽2.5GHZ 做光的调制、提供光信号的脉冲 54 纯水设备 北京佳云净水设备公司 2004 国内 15.43 储水量为2吨，带有自动反洗过滤器系统 纯水设备，储水，带有自动反洗 55 半导体参数测试仪 Keithley 4200-SCS/F 2004 美国 43.07 AMU模块可以提供1uA-1mA的电流；PA模块可提供最小1pA的电流 测量半导体参数 56 PECVD气相淀积 牛津 80FLUS 2004 国内 190.00 该机器使用SiO2.NH3.NO2.O2/CF4等气体；可以生长SiO2和SiN等材料 可以生长SiO2和SiN等材料 57 研磨抛光机 Logtech PMS 2004 英国 133.94 带有抛光砂轮和电机，可以做到不伤害所抛光的片子 带有抛光砂轮和电机 58 循环水冷机组 北京众合创业科技发展公司 BLK-60FF 2005 国内 14.06 电源380V三相五线；生产的循环水的温度为15-35° 生产的循环水进行冷却 59 循环水冷机组 北京众合创业科技发展公司 BLK-2SFF 2005 国内 11.60 电源380V三相五线；生产的循环水的温度为15-35° 生产的循环水进行冷却 60 露点仪 美国通用电器公司 M9LR-Z 2005 美国 14.81 四通道露点检测；可以检测水和氧的含量；最低温度-110° 露点检测；可以检测水和氧的含量 61 双管扩散炉 3251 北京华创电子股份公司 L4512II-16ZM 2005 国内 14.00 800-1200度 共半导体集成电路生产线上3"硅片作扩散、氧化、退火等工艺使用 62 双管扩散炉 3251 北京华创电子股份公司 L4512II-16ZM 2005 国内 14.00 800-1200度 共半导体集成电路生产线上3"硅片作扩散、氧化、退火等工艺使用 63 激光器芯片测试系统 北京爱尔帝光电科技 2005 国内 102.50 变温台温度0-110°，步长1nm，精度0.5nm 激光器芯片测试 64 电化学测试仪 ACCENT PN4400 2005 英国 59.42 分辨率达到6um，探测浓度为10E15-10E22 电化学测试Si、GaAs基半导体材料 65 空调机组主机 广东省吉莱空调工程公司 HJF-62N 2005 国内 21.15 制冷量10*4；加热30KW 超净室恒温、恒湿、洁净 66 氧化钢锡蒸发系统 鸿祥发展 2005 国内 111.22 真空腔室，并有自动加热和控温功能 自动加热和控温功能 67 匀胶台 Suss Microtcc DELLTA80 2005 德国 47.99 吸力为0.1-0.2MPa 真空装置可以把片子吸在机器上 68 光刻系统 suss Microtec MJB3 2005 德国 123.10 电源380V三相五线； 机器带有自动防震功能，带有可以调节的物镜 69 SUN 服务器 SUN公司 SUN V490 2007 国内 15.39 机架式5U，UltraSPARC IV+，1800MHz，标配2个处理器，内存8GB，最大内存容量 64GB，硬盘大小为2*146GB Sybase服务器 70 SUN 服务器 SUN公司 SUN V490 2007 国内 15.39 机架式5U，UltraSPARC IV+，1800MHz，标配2个处理器，内存8GB，最大内存容量 64GB，硬盘大小2*147GB Sybase服务器 71 等离子体淀积台 北京圣、脉冲和间歇型RF信号。

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