用计算全息法测量长焦透镜的透射波前(2)

霭隆“靴九九m九帆～m熔Ⅲm似m似～珧 船川㈣蝴哪蝴一毫|靴九九m九帆一m11r靴九九m九哪一帆万方数据第12期 魏小红，等：用计算全息法测量长焦透镜的透射波前30094误差分析CGH法测量的误差来源有设计误差、调节误差和加工误差。在本实验中，设计误差几乎为0，在此，主要关注CGH的加工误差和调节误差对波前检测的影响。4．1 CGH加工误差在光学检测中，通常实验圆形二进制全息版，因为它易于加工且衍射效率较高。同时，由于是圆对称，全息版的设计和分析就从二维简化为一维。一维线性光栅的结果如图8所示。光栅的周期为P，刻蚀深度为t，占空比D—b／p，口为光栅不同结构处的位相差。图8一维线性光栅的轮廓Fig．8Unidimensional linear grating profile远场波前相位函可通过Fraunhofer衍射理论得到。引入波前相位灵敏函数嘉，籍和署来描述由于占空比AD、位相函数△口等刻蚀引入的误差和振幅调制△A，带来的波前误差。灵敏函数如表2[18]所示，波前误差AW与位相误差的关系为AW一_L,o AkO"。CGH的加工误差分为基底误差，图形畸变误差，占空比误差，刻蚀深度误差和表面粗糙度引入的误差。

表2线性光栅的灵敏函数Tab．2Sensitivity functions基底误差通常引起低频畸变，可通过平行光来测试，测量光路如图9所示。ReferenceFlaIInterf’eromeler№芒◎图9 CGH基底误差测量光路Fig．9 Experimental setup for measuring the substrate error of a CGHCGH图形误差是由于刻蚀时偏离理想图形引入的误差，其引入的波前畸变正比于条纹偏离量：AW(x，y)一一mA寺，(4)其中：e为光栅在垂直条纹方向的位置误差，m为衍射级次，S为光栅周期。除此，占空比(D)和刻蚀深度(口)也是误差源。波前灵敏函数提供了描述此加工误差引入的波前畸变的方法，由CGH加工引入的波前RMS误差如表3所示。表3由CGH加工引入的波前误差Tab．3 Wavefront error induced by the manufacturing of CGH万方数据3010 光学精密工程第24卷4．2 CGH调节误差在实验中，使用五维调节架来调节被测凸面透镜和波带片的姿态，则调节误差包括对z(或y)轴的平移偏离和偏轴及被测镜与波带片间的距离偏差。

4消除光栅倾斜引起的误差的方法图2给出了光栅刻痕的几何投影图，若不管光谱线的高低情况，光谱线相当于是水平线ef截得的d7为光栅常数所产生的衍射光谱，显然d7比d要大，相当于由光栅垂直的间距d变为直角三角形的斜边∥ 。与它们前一系列的产品evi-d30/d31相比，evi-d70p摄像机提供了更宽的平移/倾斜范围和更快的平移/倾斜机制。与它们前一系列的产品evi-d30/d31视频会议摄象头相比，sony d70evi-d70p视频会议提供了更宽的平移/倾斜范围和更快的平移/倾斜机制。

相对于加工同样精度的球面镜，加工一块菲涅尔波带片的难度更低，成本也更低；测量长焦距透镜的波前时，菲涅尔波带片法可大大缩短光路，降低振动、气流扰动等干扰，提高测量精度。[7]SCHWIDER J长焦距透镜，BUROW R，EI．SSNER K E，et a1．．Digital wave—front measuring interferometry：somesystematic error sources[J]．Appl．Opt．，1983，22(21)：342卜3433．[8]HOU C I。，BAI J．Wavefront measurement for longfocal large aperture lens based on Talbot effect ofRonchi grating[J]．J．of Phy：Conf．Ser．，2006，48：1037—1041．[9]YOON G Y，JITSUNO T，NAKATSUKA M，etn￡．．Wavefront measurement with a large F—numberplastic microleln array[J]．Appl．Opt．，1996，35：188—192．[10]CAI L Z，LIU Q，YANG X I。

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精密光学光电子薄膜元器件生产商。5年来，乐凯先后投资建设了tac薄膜生产线、太阳能电池背板生产线、合肥乐凯工业园2.5万吨光学聚酯薄膜生产线和精密涂布生产线、华光工业园ctp数码板材生产线和柔性树脂板生产线等项目，多个项目填补国内空白。或bn） （3-5年，全日制 和半日制） 基础学位（准学）-fda, fdsc, 或fdeng （2年，全日制） 国家高级毕业/教育证书-hnd/hnc (2年，全日制和半日制)留学费用 学费 基础学位及本科学：6150英镑／年 硕士：7350英镑／年 工商管理硕士：7850英镑／年 哲学硕士：7350英镑／年 生活费用 瑞克斯汉是英国消费水平较低的地区，newi住宿费用每周约为50－65英镑。

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