李旺奎_李旺.阳_终极兵王李旺(2)

1957年，德国人G.J.Schultz,A.V.Phelps发明了高压强电离真空计，尽量利用离子流的较好的线性等优点来代替热传导规的不足) 其压强测量范围为102~10-4Pa。

1959年,M.Varicak发明半导体热敏真空计。测量范围为102~10 -4Pa，其制造工艺过于复杂难以推广应用。

1960年，P.A.Redhead发明调制B-A电离真空计，测量压强下限拓宽至10 -10Pa。是一种典型实用的超高真空真空计。

1963年，W.C.Schuemann发明抑制型B-A电离真空计，其测量下限可达10-10Pa。

1966年，J.C.Helmer，W.H.Hayward发明离子偏转收集型电离真空计，又称为弯注型B-A电离真空计。测量下限可达10 -11Pa，是一种很好的极高真空真空计。

1968年，J.Groszkowski发明又一种埋藏收集型电离真空计，测量压强下限达到10-11Pa，也是一种很好的实用的极高真空真空计。

七十年代后的二、三十年中，真空测量技术领域在新原理方面没有出现明显突破性的进展) 较多的是在基本清晰的原理思路上的改进与补充) 处于一个相对稳定的时期。尤其是在极高真空区域内的测量，更是每前进一点都十分困难，而且经常伴随着反复。不过，新事物总是不断地产生着。李旺奎如1971年报导的光散射绝对型真空计，可测至10-9Pa压强，1972年提出的场致显微镜真空计，可测至10-14Pa。1973年提出的管型倍增器真空计，预计可测至10-14Pa压强;1974年报导的脉冲放电真空计，1977年报导的激光电离真空计预计可测至10-11Pa真空度；1992年报导的离子谱真空计可测至10-12Pa真空度，等等。

今天 成千上万的科学工作者及技术人员正在高科技领域中，以极大的热情对于压强小于10-11Pa的真空状态的准确测量进行不懈的探索与研究，人们满怀希望地期待着新原理、新思想方法的出现。同时， 人们也在不断努力提高真空测量的准确度，尤其是不同方法的重叠区域的正确校准测量，以及真空计的稳定性、自动化、智能化、可靠性、环境适应性等方面的改进与提高。

纵观真空科学技术的发展史，每取得点滴成绩与进步，都是人类智慧与辛勤劳动的汗水的结晶，人类征服自然的脚步永不会停止，我们坚信，在真空测量领域里，令人激动与鼓舞的新成果将会不断涌现， 真空科学技术将会奔向新的高峰。

参 考 文 献

1.[美]G.L.威斯勒，R.W.卡尔森主编， 真空物理和技术[M]. 北京： 原子能出版社,1990

2.唐政清，真空测量[M]. 北京：宇航出版社，1992

3. 李旺奎. 极高真空测量和超高真空校准[J]. 真空技术 1975,4(2);

4 Z.Hulek.全压和分压测量的发展[J] 真空, 1988,(6);

5 白鹤祥.真空测量的现状与发展预测[J].真空与低温, 1986:5(3);

6 华中一. 极高真空展望.真空技术[J].1978,7(2);

7李旺奎,刘强,吕时良.日本的极高真空技术研究[J].真空,1995,(4);

8[苏]г,д 萨克萨甘斯基.辐射物理装置中的超高真空技术[M].北京: 原子能出版社,1984

9 陈丕瑾, 真空的科学技术[M].北京: 国防工业出版社,1987

10 杰. 亚伍德.高真空技术[M].北京: 科学出版社, 1954

11 胡汉泉, 王迁 主编.真空物理与技术及其在电子器件中的应用[M].北京:国防工业出版社, 1982

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