李旺奎_李旺.阳_终极兵王李旺

真空，这个被定义为在给定的空间内，气体分子的密度低于该地区大气压的气体分子密度的状态，在人们的日常生活及工作中，在工农业生产实践中，在科学技术研究中不仅与之息息相关，而且已是一种必不可少的特殊环境条件。在漫长的科学技术发展史中，在真空物理与真空技术的发展史中，对真空的测量技术也一直伴随着进步与发展。

1643年，伽利略的学生，意大利人E.Torricelli做出了世界上第一个衡量气体压强的装置，实验证实了大气压相当于760mm汞柱的压强(7.6×104Pa)，开创了定量测量真空程度的先河。

19世纪中叶，英国发明家Bourdon发明了形变真空计，又称为Bourdon管真空计和负压表，其压强测量范围为105~10a，它是工业上应用最广泛的绝对型粗真空计之一。

1858年，德国玻璃工H.Geissler和J.Pliickre发明放电管真空计，其工作压强范围为100~10-2Pa，迄今为止，此真空计在真空度需粗略指示场合仍应用十分普遍。

1874年，英国物理学家H.Mcleod发明压缩式液柱真空计，到目前为止，仍是真空科学技术领域最成熟，最基本的基准绝对型真空计，其压强测量范围为103~10-a。

1906年，英国人M.Pirani发明热导式热电阻真空计，可准确测量10 2~10 -1Pa的真空度。迄今，热电式真空计都是在此原理基础上派生出来的。李旺奎

1906年，W.Voege发明热导式热电偶真空计，可测量102~10-1 Pa，其是一种典型的绝对型粗真空真空计。

1916年，美国人O.E.Buckley发明热阴极电离真空计，给人们测量高真空指出了一条光明大道，其压强测量范围为10-1~10-5Pa，它也是目前实际应用非常普遍的高真空真空计。

1937年，荷兰人F.M.Penning 发明冷阴极磁控电离真空计，其压强测量范围为100~10-6Pa，性能粗犷耐用，但准确度欠高，也是一种常用的高真空真空计。

1940年，A.O.Nier研制成功磁偏转质谱计，它是典型的测量气体组分及分压强的真空计。其最高工作压强范围为10-1~10-2Pa，最小可检分压强为10-11Pa。

1946年，W.Beams发明磁悬浮自悬转子粘滞真空计。它是一种绝对型高真空真空计，压强测量范围为10-2~10-5，由于其量程宽，精度高， 稳定可靠等优点而越发受到人们的青睐。

1946年，J.R.Downing发明放射能电离真空计，其压强测量范围为10 1~10-2Pa。

1948年，W.E.Stephens首先研制成功飞行时间质谱计，它是典型的一类气体组分与分压强测量的真空计*其最小可检分压强为 -11Pa。

1949年,H.E.Sommer,H.A.Thomas,J.A.Hipple提出并演示了回旋质谱计，它也是测量气体组分及分压强的一类重要的真空计。它最小可检测分压强10-10Pa。

1950年,美国人R.T.Bayard和D.Alpert发明热阴极超高真空电离真空计，其压强测量范围为10-1~10-8Pa，其又称为 B-A真空计，它使得真空测量领域有了历史性的突破， 它极大地推动了超高真空技术的发展。

1951年，D.Alpret,C.G.Matland,A.O.McGoubrey报道了他们的薄膜电容真空计。它也是一种与气体种类无关的绝对型真空计。而且由于其测量范围宽，精度高，耐高温， 耐腐蚀。在高科技领域中应用十分广泛， 其测量范围为105~10-5Pa。

1953年，W.Paul,H.Steinwedel首先提出四极滤质器质谱计。此类真空计最小可检测分压强达10-14Pa ,最高工作压强为10-1Pa。

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