比光刻机更贵的设备 国产设备面临机遇窗口期 “攻山头插旗子”方式如何改变？

随着我国半导体产业持续快速发展，国内半导体设备业呈现出较快发展的势头。在国家科技重大专项以及各地方政府、科技创新专项的大力支持下，国产半导体设备销售快速稳步增长，多种产品实现从无到有的突破，甚至有些已经通过考核进入批量生产，在国内集成电路大生产线上运行使用。从众多机构先后给出的预测数据看，我国半导体设备业的春天即将到来。

国产半导体设备规模十年翻了五倍

国际半导体产业协会（SEMI）公布，2017年全球半导体设备商出货金额达到560亿美元，年增40%。比光刻机更贵的设备随着中国大陆晶圆厂产能持续开出，2018年半导体设备需求将有增无减，预期全球半导体设备支出金额将持续增长，预计达到630亿美元，较去年增长11%，可望再写新高。在获得可喜数据的同时，SEMI预估，由于中国大陆大幅扩建新晶圆厂，今年中国大陆半导体前后段设备市场可能超过中国台湾市场，增幅接近五成，达到113亿美元，成为全球半导体设备销售金额增幅最大的地区。

中国半导体设备业的发展离不开集成电路的发展，随着集成电路的逐步成长，半导体设备的发展得到了促进。中国电子信息产业发展研究院集成电路研究所副所长林雨向记者介绍，2017年我国集成电路市场规模达到11985.9亿元，同比增长8.7%，规模增速领跑于全球，这势必为设备业产生一定的驱动作用。

“2017年，全球半导体设备投资规模达到570亿美元，预计2018年可达630亿美元，半导体设备的复合增长率为7.7%。预计到2020年，中国半导体设备有望可达全球半导体设备的25%，与2010年的4%相比，我们仅用了十年就翻了五倍。”中国电子科技集团公司第四十五研究所集团首席专家柳滨说。

十年来，我国部分高端装备实现从无到有的群体突破。比光刻机更贵的设备据记者了解，上海中微刻蚀机、沈阳拓荆12英寸PECVD、上海瑞丽光学测量设备、北方华创12英寸氧化炉以及刻蚀机、中科信离子注入机等16种12英寸前道装备，29种封测装备通过生产线考核进入批量销售。封装测试装备的国产化率超过芯片业，上海微电子500系列步进投影光刻机已经占到国内市场80%以上的份额，还有倒装机、刻蚀机、PVD、清洗机、显影、匀胶等设备均已满足先进技术的要求，高密度集成电路用基板已经开始替代。

半导体设备业仍需持续发力

一直以来，我国半导体设备产业发展呈存忠说。

另一方面，很多国产企业采取“攻山头插旗子”的方式抢占国内设备业未开发领域，这必然造成产品后续的一些问题，例如与用户结合的紧密性不足、与上下游产品之间的切合度不够等。国家科技重大专项（02）专家组组长叶甜春表示，“攻山头插旗子”的方式没有错，但是随着我国半导体产业的慢慢崛起，这种方法需要改变，提升与用户结合的紧密度，建立与产品的联系，然后才有机会产生优秀的解决方案。据记者了解，我国已经有了这样的例子。苏州晶方建立了全球第一条12英寸CIS封装生产线，采用了80%的国产设备，整条生产线具有良好的配合效果，甚至产生了全世界一流的解决方案。

半导体设备业的发展离不开自身的规律，在整条半导体生态链上，半导体装备可达百余种，牵涉到的技术种类繁多，技术层次的门槛颇高，对技术的积累、资金的投入都有着严格的要求，“小投入无产出，大投入高回报”似乎成为了业内默许的一个规律。即使解决了资金的问题，研发周期长也是企业必须要面对的一个压力。“从‘2025’到‘2030’，这个目标很宏伟，设备业有着更长远的目标，我们需要国家地方政府的支持，设备业需要持续发展，更需要政策在下一年度的继续支持。对设备业来说，我们一方面感到机遇，另一方面也要面临挑战。”柳滨说。

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