导读：激光干涉仪是用于测量位移的长度测量工具，常用在机床(2)

光电鼠标器是通过红外线或激光检测鼠标器的位移，将位移信号转换为电脉冲信号，再通过程序的处理和转换来控制屏幕上的光标箭头的移动的一种硬件设备。激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化，主要应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。 keyence激光位移传感器激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化，主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。

它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。激光测量仪的工作原理

Ⅰ：位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。

测量中,为衡量被测点,线,面的尺寸和位置精度而选作依据的点,线,面称为测量基准.一般情况下,多以定位基准作为测量基准.如图5-3所示的容器接口Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ都是以m面为测量基准,测量尺寸h1,h2和h2,这样接口的设计标准,定位标准,测量标准三者合一,可以有效地减小装配误差.。其次，它还具有一些选择功能，如自动螺距误差补偿(适用大多数控系统)、机床动态特性测量与评估、回转坐标分度精度标定、触发脉冲输入输出功能等。

Ⅲ：数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析等。

Ⅳ：几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。

总结：激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种，其中单频激光干涉仪是通过发射激光束，有固定的波长，折返的激光束将光信号转化为脉冲信号，计算折返的脉冲总数，通过计算得知位移距离，等长度的测量。

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