物镜工作距离 感受电镜历史与现代科技之传承与碰撞(3)

型号为UHS-T1的扫描电镜及临界点干燥装置1号机

40余年以来，日立的FE技术被采用在高分辨SEM和TEM产品中，在生物、材料、半导体等领域得到广泛应用，对全球的科学、医学等产业的发展产生了深远的影响。(如FE – SEM商业化后，日立又将该技术拓展推出测长扫描电子显微镜(CD-SEM)，用于半导体生产线的过程控制，为当时的半导体器件微细化做出了贡献。同时，日立推出的FE- SEM在全球首次成功观察到了艾滋病病毒电镜图像，为医疗保健及生物科技领域的进步做出了贡献。并且，日立还将FE-TEM应用到电子线全息技术，实际验证了阿哈罗诺夫-玻姆效应(Aharonov-Bohm effect)，对科学技术的验证及发展也做出了重要贡献。)

“改变世界的FE - SEM”简介及“IEEE里程碑”奖牌

*“IEEE里程碑”奖设立于1983年，主要用于表彰那些在电气、电子、信息及通信领域的革新中，自开发后历经25年以上仍被公认为对社会及产业发展有巨大贡献的产品技术。

前述历史电镜产品核心展示

接着，在东京Lab工作人员指引下，我们参观了这里展示的钨灯丝电镜产品。

工作人员介绍日立高新钨灯丝电镜产品(左:FlexSEM1000,右:SU3500)

东京Lab展示的钨灯丝电镜产品包括4款：TM4000(桌上型)、FlexSEM1000、SU3500、S-3700N，这些产品的主要区别在于可分析的样品尺寸大小，如S-3700N相比其他几款，可以满足更大样品的分析。接着工作人员主要介绍了FlexSEM1000和SU3500。

FlexSEM1000为笔者留下的主要印象是其两个特点。一是，在显示器界面上，有同时显示样品全貌的光镜图片，利用导航功能可以快速精准的找到样品，一键切换到电镜高倍图片。。操作十分简单方便;二是，其实时3D图像功能，利用4分割的探头，同时扫描即可得到实时3D图像，清楚了呈现出例如断面的各种细节。据介绍，这也是当下比较有人气的功能之一。

介绍SU3500过程中，展示了可用的各种样品台，可以看到这款电镜可以对更大的样品进行分析，比如对于一些不想破坏的汽车可以直接进行分析等。整体而言，钨灯丝电镜产品由于其操作简便、价格实惠等特征，在工业领域得到了十分广泛的应用。

然后，东京Lab工作人员又为我们介绍了这里展示的场发射电镜产品。

工作人员介绍日立高新场发射电镜产品(左: SU9000,中：Regulus8220，右: Regulus8100)

场发射电镜产品参观中，工作人员主要介绍了SU9000、Regulus8200系列、 Regulus8100三款产品。场发射分为冷场和热场，都具有高分辨的特点。超高分辨冷场发射扫描电镜SU9000是东京Lab展示电镜产品中分辨率最高的产品，30kv二次电子分辨率高达0.4nm(相当于放大300万倍)。而高分辨便成为其最大的特点，背后的主要原因就是SU9000电子光学系统是内透镜模式的设计，使得工作距离(物镜与样品之间的距离)足够小，从而获得分辨率大大提升。而高分辨率的特点也直接带来一些影响，一是所分析的样品尺寸需要相对比较小，二是高分辨对环境要求更高，为了保证优异性能，SU9000标配了保护罩，减少了环境声音，空气流动等影响这也是为什么看到SU9000具有更大体积的原因。

Regulus8200系列分辨率介于SU9000与Regulus8100系列之间，其检测器有三种：Top、Upper、Lower，三个检测器可以根据检测到不同的信号进行样品不同的分析，以一种铁镍催化剂的分析为例，Top检测器可以获得表面成分组成信息，Lower检测器可以获得凹凸信息，而Upper检测器可以同时获得成分组成及凹凸的信息。而Regulus8100系列与Regulus8200系列最大的区别在于，Regulus8100系列只有两个检测器，由于检测器减少，设备对样品检测操作的要求没那么高，更适合初学者使用。同时，可放入观察的最大样品尺寸也不同，Regulus8200系列是6英尺的样品，而Regulus8100系列则是4英寸样品。

本文来自电脑杂谈，转载请注明本文网址：
https://www.pc-fly.com/a/shumachanpin/article-89394-3.html