基于激光准直原理的多自由度测量系统的研究

“湖北工业大学” 2009

龙玲莉

【摘要】: 在超精密加工，. 最后，对测量系统进行校准和误差分析. 实验结果表明，该系统具有良好的重复性和稳定性. 在±300μm的测量范围内的直线度测量精度达到1μm，在±800英寸的测量范围内的角度测量精度达到1英寸.

[学位授予单位]: 湖北工业大学

[学位]: 硕士

[学位奖]: 2009

[分类号]: TH744

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