气体流量，流阻，电导率

对于真空系统管道元件（包括导管，阀门，疏水阀等），如果其入口压力P1和出口压力P2不相等，即在其两端都存在压力差P1-P2. 管道元件，然后该元件将具有从高压侧到低压侧的气流（请参见图3）.

1. 气体量G: 气体压力与其体积之积. 单位: Pa·m3或Pa·L

G = PV

2. 流量Q: 单位时间内通过一个区域的气体量. 单位: Pa·m3 / s或Pa·L / s

3. 电导率C: 在单位压差下流经管道元件的空气流量称为电导率.

如果通过元件的空气流量为Q，则实验和理论证明Q的值与元件两端的压差P1-P2成正比. 用数学公式表示Q和P1-P2之间的关系，可以将其写为公式（5）.

此比例常数C称为电导. 公式（6）是电导的定义. 它表明，在单位压差下，流经管道元件的气流的大小称为电导. 在国际单位制中，气流Q的单位为Pa·m3 / s，P1-P2的单位为Pa，因此电导的单位为m3 / s.

电导的大小表示在管道元件两端的压力差P1-P2恒定的条件下，流经管道元件的空气量. 从等式（5）可以看出，当压力差P1-P2恒定时，电导率C的值大，则流经管道元件的气流Q的值大；否则，电导C的值较小流阻和流量的关系，并且元件的空气流量Q较小. 因此，作为真空系统的管道部件流阻和流量的关系，无论是导管，阀门，疏水阀，集尘器等，都希望其电导值尽可能大，以使空气流能够通过. 通过顺利. 因此，电导率是真空系统管道组件的重要参数. 在真空系统的设计和计算中，必须计算出真空系统的管道组成和电导率.

串联管道的电导率:

并行的电导:

电导概率

电导的概率也称为传输的概率，其物理含义是气体分子从组件的入口进入组件并可以从管道组件的出口逸出的概率. 在分子流动的状态下，使用电导率来表征真空系统管道部件对气体的电导率更为直观和必要. 如果使用pr表示电导概率，则电导概率的定义公式为公式（7）.

从公式（8）可以看出，管道元件的电导率C等于管道入口孔的电导率Cfk与电导率概率Pr的乘积. 通常，容易获得管道元件的入口孔的电导Cfk. 如果已知元素的电导率Pr，则可以使用公式（8）轻松计算元素的电导.

4. 流动阻力W: 当气体通过管道时产生的阻力称为流动阻力，即管道两端的压差与管道中的流量之比.

电导与流阻之间的相互关系

C = 1 / W

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